電子級水中國國家標準GB/T 11446.1-2013

電子級水中國國家標準GB/T 11446.1-2013

電子級水

1 範圍
GB/T 11446 的本部分規定了電子級水的級別•·、技術指標要求•·、試驗方法和檢測規則•••。
本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水•••。
2 規範性引用檔案
下列檔案對於本檔案的應用是B不K少的•••。凡是注日期的引用檔案◕↟，僅注日期的版本適用於本檔案•••。凡是不注日期的引用檔案◕↟，其最新版本（包括所有的修G單）適用於本檔案•••。
GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則
GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法
GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化矽的分光光度測試方法
GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法
GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法
GB/T 11446.10-2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法
3 術語和定義
下列術語和定義適用於本檔案•••。
3.1
電子級水 electronic grade water
電子和半導體工藝過程中所用的高純水•••。

3.2
電阻率 resistivity
在規定溫度下◕↟，1cm³(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值•••。通常用符號ρ表示◕↟，單位為歐姆釐米（Ω·cm）,純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)•••。
3.3
全矽 total silicon
水中可溶性矽和以二氧化矽膠體狀態存在的矽的總量•••。
3.4
可溶性矽 soluble silicon
以單一分子狀態存在於水中的溶解性矽酸鹽•••。
3.5
微粒性物質 granular matter
除氣體外◕↟，以非液體分散在水中◕↟，並形成非均相混合物的物質•••。
3.6
總有機碳 total organic carbon；TOC
水中以各種有機物形式存在的碳的總量•••。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物•••。
3.7
吸附 absorption
某些多孔性粒狀物質由於表面活性作用而具有吸著某些物質的現象•••。
3.8
凝聚 coagulation
在源水中加入某種電解質後◕↟，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和◕↟，從而使其聚整合較大顆粒而沉降的現象•••。
3.9
絮凝 flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉澱的現象•••。絮凝一般是再凝聚作用後緩慢進行◕↟，可除去水中更細的微粒•••。
3.10
砂濾器 sand filter
用於盛放不同直徑的砂粒◕↟，以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置•••。
3.11
活性碳過濾器 activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過濾器◕↟，用於除去水中的可溶性有機物和過量的殘餘氯•••。
3.12
離子交換 ion exchange
一種不溶性物質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程◕↟，該過程中物質並無實質性結構變化•••。
3.13
離子交換樹脂 ion-exchange resin
一種合成的有機離子交換材料•••。
3.14
去離子水 deionized water
經過離子交換處理◕↟，除去了呈離子形式的雜質的高純水
3.15
再生 regeneration
離子交換過程操作迴圈中的一部分•••。在該部分中◕↟，用一定量的化學試劑透過離子交換樹脂使其恢復交換能力•••。
3.16
複合床 complex bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中◕↟，將兩柱串聯◕↟，使水依次透過兩個柱而被純化•••。
3.17
混合床 mixed bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻◕↟，填充於同一離子交換柱中◕↟，其純化效果相當於許多複合床串聯使用•••。
3.18
電滲析 electrodialysis
一種分離水中離子的方法•••。在電滲析器中◕↟，陰陽兩極之間用交替排列的陰•·、陽離子交換膜分割成一系列小室•••。水流透過小室時◕↟，在電流電場作用下◕↟，水中陽離子向陰極方向移動◕↟，但不能透過陽膜；陰離子則相反•••。這樣就形成相間存在的濃•·、淡水室而達到提純水的目的•••。
3.19
逆向滲透 reverse osmosis
用半透膜將濃水和淡水隔開◕↟，並在弄水上施加比滲透壓更強的機械壓力◕↟，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中◕↟，達到分離提純的目的•••。
3.20
反滲透膜 reverse osmosis membrane
用於反滲透法制備純水的一種合成薄膜◕↟，其孔徑一般為0.02μm或更小◕↟，可用於除去無機離子•·、有機物•·、細菌等◕↟，使水純化•••。
3.21
微孔膜濾器 membrane filter
一種平均孔徑（直徑）大於0.01μm的薄膜◕↟，能把大於平均孔徑的微粒截留在其表面或附近•••。
3.22
超過濾 ultrafiltration
一種過濾方法◕↟，在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細微粒•·、膠體和細菌等•••。
3.23
終端 terminal
高純水生產流程中經過各道淨化工藝後◕↟，水的出口或使用地點•••。
3.24
無菌 sterile
不含任何活有機體（不論是活躍的或休眠的）•••。
3.25
PH
水溶液中氫離子活度的負對數或氫氧根離子活度倒數的負對數•••。
4 分類和標記
4.1 分類
電子級水分為四個級別│·☁：Ⅰ級•·、Ⅱ級•·、Ⅲ級•·、Ⅳ級•••。
4.2 標記
Ⅰ級電子級水標記為│·☁：EW-Ⅰ•••。
Ⅱ級電子級水標記為│·☁：EW-Ⅱ•••。
Ⅲ級電子級水標記為│·☁：EW-Ⅲ•••。
Ⅳ級電子級水標記為│·☁：EW-Ⅳ•••。
5 要求
電子級水的技術指標應符合表1規定•••。
表1 電子級水的技術指標

 
6 試驗方法
6.1 電阻率
電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定•••。
6.2 全矽含量（以二氧化矽計）
電子級水全矽（以二氧化矽計）含量按GB/T 11446.6-2013進行測定•••。
6.3 微粒數
電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定•••。
6.4 細菌總數
電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定•••。

6.5 痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定•••。
 6.6 氟離子•·、氯離子•·、亞硝酸根離子•·、溴離子•·、硝酸根離子•·、磷酸根離子•·、硫酸根離子的含量
電子級水中氟離子•·、氯離子•·、亞硝酸根離子•·、溴離子•·、硝酸根離子•·、磷酸根離子•·、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定•••。
6.7 總有機碳含量
電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定•••。
7 檢驗規則
7.1檢驗部門
電子級水的檢驗均應在有資質的檢驗部門進行•••。
7.2 檢驗分類
電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗•••。
7.3交收檢驗
7.3.1 抽驗專案
電子級水中電阻率•·、鈉離子•·、全矽（以二氧化矽計）為交收檢驗專案•••。
7.3.2 合格判據
在用水終端取樣◕↟，檢驗後檢驗結果如有一項或一項以上不合格時◕↟，應再次取樣經行檢驗◕↟，如仍不合格◕↟，則該批不合格◕↟，應提出改進措施直到水質合格•••。
7.4 例行檢驗（全檢專案）
7.4.1 檢驗專案
檢驗專案為表1規定的全部專案•••。檢驗順序應以不影響後序實驗結果的原則進行檢驗•••。
7.4.2 不合格判定
在用水終端取樣後進行例行檢驗◕↟，檢驗結果如有不合格項時◕↟，應再次取樣進行檢驗◕↟，如仍有不合格項時◕↟，應提出改進措施直到水質合格•••。
7.4.3 檢驗頻次
例行檢驗至少每年進行一次◕↟，當制水條件發生變更時也應進行例行檢驗•••。
8 取樣•·、貯存•·、運輸及標誌
8.1取樣•·、貯存•·、運輸
電子級水的取樣•·、貯存•·、運輸應符合GB/T 11446.3-2013的規定•••。
8.2 標誌
在用水終端取樣進行檢驗時◕↟，水質合格後應附有檢驗合格證◕↟，合格證應包含如下內容│·☁：

名稱及級別；

各項技術指標；

制水單位；

供水日期；

檢驗員簽章及檢驗日期•••。